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阳江爱德华分子泵-潽拓光电(推荐商家)-爱德华分子泵接线图

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  • 主营产品:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
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     EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修


爱德华EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。





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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司






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维修爱德华 Edwards stp-a3003k1 涡轮真空泵



潽拓光电——代理及维修的分子泵维修品牌有:

法国阿尔卡特:Alcatel Adixen

英国爱德华:BOC Edwards  

日本精工,岛津,大阪及荏原 :  Seiko Seiki   Shimadzu   Osaka Ebara

德国莱宝,普发:  Oerlikon leybold       Pfeiffer Balazer  

意大利瓦里安:   Varian  

我们具备完整的测试设备,可以测试分子泵的启动时间,转速,噪音,极限真空值,渗漏率等相关数据,